这一步极其关键。光刻胶涂抹得是否均匀,直接决定了最终芯片刻线的清晰度和良品率。
涂胶完毕的硅片,缓缓滑入核心曝光舱!
林伟正亲自握住控制摇杆。
由于这台初代机还没装配智能控制中枢,光束的聚焦和对准,还需要人工进行微调。
林伟正全神贯注地盯着显微目镜,手动锁定掩模版和硅片的对齐坐标。
确认无误后,果断按下红色的曝光按钮!
“滋——!”
一道刺眼的极紫外光束瞬间亮起,透过掩模版,精准无误地刻印在硅片的光刻胶上!
复杂的微观电路图,在这一瞬间被完美转移!
曝光结束。
硅片被移出曝光舱,进入显影池。
这一步急不得,需要让显影液慢慢溶解掉未被光线照射过的多余光刻胶,让蚀刻好的电路沟槽彻底显现出来。
整个绝密仓库里鸦雀无声。
所有人都屏住呼吸,死死盯着显影池,连大气都不敢喘。
时间一分一秒地过去。
林伟正用特制镊子将硅片夹出,最后进行了一次高压喷洗,清除残留的显影液。
当这枚仅仅指甲盖大小的芯片,被林伟正戴着无尘手套轻轻托在掌心时。
全场所有人的心都提到了嗓子眼!
外观再完美也没用,必须得上机测试!只有通了电能运转,才算真正的成功。
六十年代,晶体管刚刚兴起,人类才刚刚推开半导体时代的大门。
但庞大的晶体管计算机不仅体积像座房子,而且发热量恐怖,耗电量惊人。
而芯片的诞生,就是把整座房子的电路板,硬生生压缩进一个指甲盖大小的硅片里!这是真正颠覆人类文明进程的科技革命!
这枚芯片的出现,意味着中国不仅追平了西方,甚至直接在计算机领域实现了恐怖的弯道超车,领先世界三十年!
林伟正快步走到测试台前,将芯片接入专门的微电流测试夹具中。
按下电源开关。
测试仪器的绿灯瞬间亮起,示波器上跳动出完美稳定的波形数据!
测试一次性通过!
毫无瑕疵!
“成……成了!”
“我们成功了!!!”
短暂的死寂后,整个仓库爆发出歇斯底里的狂欢!
几个老院士激动得直接跪在地上抱头痛哭。年轻一点的专家们兴奋地拥抱在一起又蹦又跳。
更有几十个热血上头的技术员,直接冲上去把林伟正扛了起来,高高地抛向半空!
短短十天!
他们不仅从无到有造出了光刻机,还成功点亮了第一枚国产微米级芯片!这是奇迹!
狂欢了足足十几分钟,大家的情绪才稍微平复。
林伟正挣脱人群,站回操作台前,大声宣布:“各位,庆祝的话留到以后再说!”
“现在,光刻机进入量产测试阶段!把我们准备好的那一千枚硅片毛坯全部拉过来!”
“全部上机流片!我要看这台机器的真实良品率!”
一台光刻机牛不牛逼,核心指标不是精度,而是量产良品率!如果刻十张废九张,那这机器就是一堆废铁。
林伟正对自己造出来的东西有绝对的自信,良品率绝对在百分之九十以上!
当然,影响良品率的不仅是机器本身,还包括硅片的纯度、环境温湿度控制等各种因素。
在目前的环境下,林伟正估算,这台机器刻印1微米芯片的良品率能达到95%到98%!
如果是极限挑战365纳米的制程,良品率可能会掉到85%到90%左右。
但这已经是后世成熟商业代工厂的极高标准了!
具体能达到多少,就看这批一千张硅片的最终出货量了。
接下来的工作,林伟正彻底放权了。
有了这十天的魔鬼训练,这四百号专家完全可以脱离他dú • lì 操作。
并且随着熟练度的提升,后续复刻组装光刻机的速度只会越来越快。
轧钢厂已经提前腾出了一个恒温恒湿的无尘防静电车间。
等这批设备完成最终调试,将全部转移进那个绝密车间,作为国内第一条芯片量产线!
到时候,这支四百人的顶尖团队也将功成身退,带着图纸和经验返回哈工大和科学院。去亲手打造属于他们自己的光刻机生产线。
但肯定会有一百多名核心骨干自愿留下来。
继续跟着林伟正,死磕更精密的极紫外光源,向着更小制程的纳米级芯片发起冲锋!
其实。
芯片的问世,对林伟正的宏大蓝图来说,仅仅是走完了万里长征的第一步。
有了芯片,小型化个人电脑的研发就能提上日程了。
甚至可以着手搭建国家级的超级算力中心!
一旦超级计算机建成。不论是现在卡脖子的蘑菇蛋工程,还是未来的尖端战机、洲际导弹、相控阵雷达,甚至航空航天器。
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